منابع فارسی - نانوالکترونیک

1. کتاب اصول نانوتکنولوژی و سیستم‌های میکروالکترومکانیکی

شامل مباحث : مقدمه ای بر نانوتکنولوژی، نانوتکنولوژی ملکولی، نانومواد، کربن، نانوبیوتکنولوژی، اپتیک و فتونیک، نانوالکترونیک، سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS)، مواد کاربردی در تکنولوژی میکروالکترونیک، مواد کاربری در تکنولوژی میکروماشین کاری، تکنولوژی میکروالکترونیک، میکروماشین کاری، میکروسنسورها، معرفی قطعات SAW.

تاریخ انتشار کتاب 1386 و کمی قدیمی است ولی برای یک آشنایی جامع با  نانوفناوری و نانوالکترونیک بسیار مناسب است.

2. کتاب مقدمه ای بر طراحی فیزیکی مدارهای مجتمع

برای آشنایی با صنعت نیمه هادی و مدارهای مجتمع به ویژه ی فناوری CMOS  و روند طراحی، شبیه سازی و همچنین فرآیندهای ساخت آن.

3. کتاب نانوالکترونیک به زبان ساده

4. سایت سیستم جامع آموزشی فناوری نانو

دوره ی آموزشی سیلواکو- آتنا

یکی از شبیه سازهای سیلواکو که برای شبیه سازی فرآیندهای ساخت ادوات نیمه هادی استفاده می شود، آتنا است. دوره ی آموزشی آتنا با سرفصل زیر در 5 جلسه ارائه می شود:

Process Simulation-Athena

1.        Introduction to Silvaco TCAD

2.        Installing Software

3.        Epitaxial Growth

4.        Thermal Oxidation

5.        Dopant Diffusion

6.        Ion Implantation

7.        Photolithography

8.        Etching Processes

9.        Metallization Processes

10.  Process & Device Simulations of MOSFET

آموزش دروس تحصیلات تکمیلی مهندسی برق-گرایش افزاره ­های میکرو و نانوالکترونیک

آموزش دروس تحصیلات تکمیلی مهندسی برق-گرایش

 افزاره ­های میکرو و نانوالکترونیک