دوره ی آموزشی سیلواکو- آتنا

یکی از شبیه سازهای سیلواکو که برای شبیه سازی فرآیندهای ساخت ادوات نیمه هادی استفاده می شود، آتنا است. دوره ی آموزشی آتنا با سرفصل زیر در 5 جلسه ارائه می شود:

Process Simulation-Athena

1.        Introduction to Silvaco TCAD

2.        Installing Software

3.        Epitaxial Growth

4.        Thermal Oxidation

5.        Dopant Diffusion

6.        Ion Implantation

7.        Photolithography

8.        Etching Processes

9.        Metallization Processes

10.  Process & Device Simulations of MOSFET